多原子分子イオンビームによるシリコン表面照射効果
多原子分子イオンビームによるシリコン表面照射効果
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多原子分子离子束硅表面辐照效果
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
竹内光明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Mineo Kaneko;Li Jiang;S.Sasaki;竹内光明
