The effect of moisture on the fracture energy of TiN/SiO2 interfaces in multi-layer thin films
The effect of moisture on the fracture energy of TiN/SiO2 interfaces in multi-layer thin films
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水分对多层薄膜TiN/SiO2界面断裂能的影响
DOI：
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发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D. Clarke
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G. Xu;M. He;D. Clarke
