Influence of H2 Injection into Operating Gas on Size of Si Nanoparticles Synthesized in Tandem-PMITP
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工作气体中注入 H2 对 Tandem-PMITP 合成的硅纳米颗粒尺寸的影响
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Keitaro Nakamura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yurina Nagase;Ryudai Furukawa;Tomoya Fuwa;Yasunori Tanaka;Yusuke Nakano;Tatsuo Ishijima;Shiori Sueyasu;Shu Watanabe;Keitaro Nakamura
