Semianalytical finite element method model for radio frequency sheaths in single and dual-frequency capacitively coupled plasmas
Semianalytical finite element method model for radio frequency sheaths in single and dual-frequency capacitively coupled plasmas
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单频和双频电容耦合等离子体中射频鞘层的半解析有限元法模型
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Denpoh and T. Shirafuji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Shirafuji;J. Hieda;O. Takai;N. Saito;T. Morita;O. Sakai and K. Tachibana;K.Denpoh;T.Shirafuji;白藤立;K. Denpoh and T. Shirafuji
