ホモエピタキシャル成長ホウ素ドープダイヤモンド半導体結晶の深い欠陥準位評価
ホモエピタキシャル成長ホウ素ドープダイヤモンド半導体結晶の深い欠陥準位評価
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同质外延生长的掺硼金刚石半导体晶体中深缺陷水平的评估
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小島一信
中科院分区：
文献类型：
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作者：
毎田 修;市川 修平;小島一信
