弾性表面波デバイスアレイへの素子分離溝の作製
弾性表面波デバイスアレイへの素子分離溝の作製
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声表面波器件阵列中元件隔离槽的制作
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
冨山 直人，石井朋幸，村上直* ，伊藤高廣
中科院分区：
文献类型：
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作者：
力丸 真也;冨山 直人;村上 直*;伊藤 高廣;冨山 直人，石井朋幸，村上直* ，伊藤高廣
