硫酸バリウム砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上性能
硫酸バリウム砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上性能
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硫酸钡磨料砂轮对单晶硅的超精加工性能
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
荒木大秀,古城直道,廣岡大祐,山口智実,松森昇,尾倉秀一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takashi Saito;Keisuke Suzuki et. al.;荒木大秀,古城直道,廣岡大祐,山口智実,松森昇,尾倉秀一
