表面平坦化処理を施したAlN上へのNbNエピタキシャル成長
表面平坦化処理を施したAlN上へのNbNエピタキシャル成長
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经过表面平坦化处理的 NbN 在 AlN 上外延生长
DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
紀平俊矢,前田亮太,小林篤,上野耕平,藤岡洋
中科院分区:
文献类型:
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作者:
山田 泰弘;中村 亮佑;後藤 直樹;毛利 真一郎;出浦 桃子;荒木 努;紀平俊矢,前田亮太,小林篤,上野耕平,藤岡洋