Dimension Change during Multi-step Imprint Process and In-plain Compression
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复制标题
多步压印工艺和面内压缩期间的尺寸变化
DOI：
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发表时间：
2020
影响因子：
0.8
通讯作者：
and Fujio Tsumori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tsuyoshi Miyata;Kazuki Tokumaru;and Fujio Tsumori
