Y.Yamamoto et al.: "Surface Adsorption of WF_6 on Si and SiO_2 in Selective W-CVD"proceedingsof the 15th International Conference on Chemical Vapor Deposition : CVD XV. No.928 (2000)
Y.Yamamoto et al.: "Surface Adsorption of WF_6 on Si and SiO_2 in Selective W-CVD"proceedingsof the 15th International Conference on Chemical Vapor Deposition : CVD XV. No.928 (2000)
复制标题
Y.Yamamoto等人：“选择性W-CVD中WF_6在Si和SiO_2上的表面吸附”第15届国际化学气相沉积会议论文集：CVD XV。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
