STEM-EBIC法によるシリコンpn接合の観察
STEM-EBIC法によるシリコンpn接合の観察
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使用 STEM-EBIC 方法观察硅 p-n 结
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
丹司敬義
中科院分区:
文献类型:
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作者:
丹羽辰嗣;田中成泰;丹司敬義