A Novel Solution-based Vapor-etching Technique : Mist-etching
A Novel Solution-based Vapor-etching Technique : Mist-etching
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基于溶液的新型气相蚀刻技术：雾蚀刻
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平尾孝(Takashi Hirao)
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川原村敏幸(Toshiyuki Kawaharamura);平尾孝(Takashi Hirao)
