分極反転 SiAlN/AlN GeAlN/AlN多層膜を用いた高次モード薄膜共振子の作製および評価
分極反転 SiAlN/AlN GeAlN/AlN多層膜を用いた高次モード薄膜共振子の作製および評価
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使用偏振反转 SiAlN/AlN GeAlN/AlN 多层膜的高阶模薄膜谐振器的制作和评估
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木，関本，垣尾
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Sekimoto;M. Suzuki;and S. Kakio;鈴木，関本，垣尾
