RFスパッタリングを用いた酸素無供給下でのSrTiO3薄膜の成長とアニール効果
RFスパッタリングを用いた酸素無供給下でのSrTiO3薄膜の成長とアニール効果
复制标题
射频溅射无氧条件下 SrTiO3 薄膜的生长和退火效果
DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
吉本健 一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
新浜尚幸;山家卓也;篁耕司;吉本健 一
