極性反転 SiAlN/AlN 多層膜 HBAR の形成、評価と極性反転 AlNFBAR の共振特性解析
極性反転 SiAlN/AlN 多層膜 HBAR の形成、評価と極性反転 AlNFBAR の共振特性解析
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极性反转SiAlN/AlN多层HBAR的形成与评估以及极性反转AlNFBAR的谐振特性分析
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
垣尾省司
中科院分区：
文献类型：
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作者：
関本淳;鈴木雅視;垣尾省司
