Large-scale molecular-dynamics simulations of solid phase epitaxy in Si
Large-scale molecular-dynamics simulations of solid phase epitaxy in Si
复制标题
硅固相外延的大规模分子动力学模拟
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Kohno and M. Ishimaru
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Higashiyama;M. Ishimaru;M. Okugawa;and R. Nakamura;K. Kohno and M. Ishimaru;K. Kohno and M. Ishimaru
