Synthesis of tantalum pentoxide films by pulsed laser deposition: material characterization and scale-up
Synthesis of tantalum pentoxide films by pulsed laser deposition: material characterization and scale-up
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通过脉冲激光沉积合成五氧化二钽薄膜：材料表征和放大
DOI：
10.1016/s0040-6090(99)00703-8
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
M. J. Graham
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Boughaba;G. Sproule;J.P McCaffrey;M. Islam;M. J. Graham
