スパッタリング法により作製した酸化バナジウム薄膜の電気的・光学的特性評価
スパッタリング法により作製した酸化バナジウム薄膜の電気的・光学的特性評価
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溅射法制备氧化钒薄膜的电学和光学性能评价
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
横山 春喜
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊藤 滉悟;上嶋 悠;介浦村 匠;横山 春喜
