自立GaN基板へのm面Al_<1-x>In_xN薄膜のMOVPE成長

自立GaN基板へのm面Al_<1-x>In_xN薄膜のMOVPE成長
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自支撑 GaN 衬底上 m 面 Al_<1-x>In_xN 薄膜的 MOVPE 生长

DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
尾沼猛儀
尾沼猛儀
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
秩父重英;羽豆耕治;尾沼猛儀

文献摘要

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