高温有機金属気相成長法におけるAlNの特異的なステップバンチング

高温有機金属気相成長法におけるAlNの特異的なステップバンチング
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高温有机金属气相外延中 AlN 的特定步骤聚束

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
永松 謙太郎
永松 謙太郎
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
宮川 拓己;津田 翔太;富田 敦之;平山 秀樹;髙島 祐介;直井 美貴;永松 謙太郎

文献摘要

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