回転補償子法を用いた垂直観測型エリプソメトリー顕微鏡によるナノすきまの定量化
回転補償子法を用いた垂直観測型エリプソメトリー顕微鏡によるナノすきまの定量化
复制标题
使用旋转补偿器法使用垂直观察椭圆偏振显微镜量化纳米间隙
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
難波克也，笹尾優介，福澤健二，伊藤伸太郎，張賀東
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
A. Saito;Y. Yamazaki;Y. Watanabe;M. N. I. Shiblee;A. Khosla;J. Ogawa;M. Kawakami;and H. Furukawa;梶 弘典;難波克也，笹尾優介，福澤健二，伊藤伸太郎，張賀東
