Progress on optical coatings deposited with dual rotatable magnetrons in a sputter up system
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复制标题
溅射系统中双旋转磁控管沉积光学涂层的进展
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Pflug
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Vergöhl;D. Rademacher;A. Pflug
