DC マグネトロンスパッタリングによる窒化ジルコニウム薄膜の作製と物性
DC マグネトロンスパッタリングによる窒化ジルコニウム薄膜の作製と物性
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直流磁控溅射氮化锆薄膜的制备及物理性能
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
石井裕樹，加藤大輝，古澤将司，岩田寛，関谷隆夫，田中正俊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
古澤将司;石井裕樹;加藤大輝;岩田 寛;関谷隆夫;田中正俊;岩田寛，岡田圭佑，石井裕樹，加藤大輝，関谷隆夫，田中正俊;加藤大輝，石井裕樹，古澤将司，岩田寛，関谷隆夫，田中正俊;石井裕樹，加藤大輝，古澤将司，岩田寛，関谷隆夫，田中正俊
