Novel Molecular Resist Materials based on Cyclic Oligomers
Novel Molecular Resist Materials based on Cyclic Oligomers
复制标题
基于环状低聚物的新型分子抗蚀剂材料
DOI：
--
复制
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Hiroto Kudo
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
藤永浩輝,小和田俊行;大江浩一;岸川圭希;Hiroto Kudo
