レーザー駆動集光EUV光による物質アブレーションとその応用
レーザー駆動集光EUV光による物質アブレーションとその応用
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激光驱动聚焦 EUV 光的材料烧蚀及其应用
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西村博明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
田中のぞみ;増田将也;出口 亮;砂原 淳;村上匡且;余語覚文;藤岡慎介;西村博明
