界面顕微光応答法を用いたワイドギャップ半導体／金属ショットキー接触界面の面内均一性評価
界面顕微光応答法を用いたワイドギャップ半導体／金属ショットキー接触界面の面内均一性評価
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使用界面微光响应方法评估宽禁带半导体/金属肖特基接触界面的面内均匀性
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
今林 弘毅
中科院分区：
文献类型：
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作者：
塩島 謙次;川角 優斗;堀切 文正;福原 昇;三島 友義;四戸 孝;今林 弘毅
