熱CVD法による深紫外発光性六方晶窒化ホウ素の合成

熱CVD法による深紫外発光性六方晶窒化ホウ素の合成
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热CVD法合成深紫外发光六方氮化硼

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
表面技術 58
影响因子:
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通讯作者:
谷口 尚
谷口 尚
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
津田 統;渡辺 賢司;谷口 尚

文献摘要

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