大気圧プラズマ窒化系における真空パージの有効性の検証
大気圧プラズマ窒化系における真空パージの有効性の検証
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常压等离子渗氮系统真空吹扫有效性验证
DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
千葉清芽,市來龍大,山之内健太,中谷達行,上野崇寿,赤峰修一,金澤誠司
中科院分区:
文献类型:
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作者:
Yasuo Azuma;Yuto Onuma;Masanori Sakamoto;Toshiharu Teranishi;Yutaka Majima;千葉清芽,市來龍大,山之内健太,中谷達行,上野崇寿,赤峰修一,金澤誠司