4H-Sic基板/エピ膜界面における表面欠陥の起源のTEM観察
4H-Sic基板/エピ膜界面における表面欠陥の起源のTEM観察
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4H-Sic 衬底/外延膜界面表面缺陷起源的 TEM 观察
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
ほか
中科院分区：
文献类型：
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作者：
越智 謙吾;ほか
