Material Characterizations of Negative Photoresist for Bio-MEMS Applications
Material Characterizations of Negative Photoresist for Bio-MEMS Applications
复制标题
用于生物 MEMS 应用的负性光刻胶的材料特性
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y . Hirai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
増渕覚;荒井美穂;野瀬健二;光田好孝;町田友樹;Y . Hirai
