Study of the epitaxy of β-FeSi2 by codeposition of Fe and Si on Si(111)
Study of the epitaxy of β-FeSi2 by codeposition of Fe and Si on Si(111)
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Fe和Si在Si(111)上共沉积β-FeSi2外延的研究
DOI：
10.1016/0169-4332(93)90587-2
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发表时间：
1993
影响因子：
6.7
通讯作者：
G. Vincent
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
X. Wallart;J. Nys;O. Dehaese;G. Vincent
在本工作中，我们用Fe和Si共沉积的方法研究了β-FeSi2在Si(111)上的外延。我们发现，为了在β相生长FeSi2，需要一个模板。与固相外延(SPE)法制备的薄膜相比，得到的薄膜具有更好的晶体结构和形貌。
In this work, we investigate the epitaxy of β-FeSi2on Si(111) using an Fe and Si codeposition method. We show that, in order to grow FeSi2in its β phase, a template is needed. The resulting films exhibit a better cristallography and morphology than those grown by the solid phase epitaxy (SPE) method.