L.Sirghi, Y.Hatanaka: "Control of plasma parameters and wall sheath voltage in radio frequency magnetron discharge by grid bias"J. Appl. Phys.. 91[7]. 4026-4032 (2002)
L.Sirghi, Y.Hatanaka: "Control of plasma parameters and wall sheath voltage in radio frequency magnetron discharge by grid bias"J. Appl. Phys.. 91[7]. 4026-4032 (2002)
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L.Sirghi，Y.Hatanaka：“通过栅极偏置控制射频磁控管放电中的等离子体参数和壁鞘电压”J。
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