自己整合プロセスによる非対称ゲート構造カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製
自己整合プロセスによる非対称ゲート構造カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製
复制标题
自对准工艺制备非对称栅极结构碳纳米管薄膜晶体管
DOI:
--
复制
发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
堀 秀汰,内山 晴貴,片浦 弘道,大野 雄高
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
稲垣 実央;島 伸一郎;Norifumi FUJIMURA;堀 秀汰,内山 晴貴,片浦 弘道,大野 雄高