自己整合プロセスによる非対称ゲート構造カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの作製

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自对准工艺制备非对称栅极结构碳纳米管薄膜晶体管

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
堀 秀汰,内山 晴貴,片浦 弘道,大野 雄高
堀 秀汰,内山 晴貴,片浦 弘道,大野 雄高
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
稲垣 実央;島 伸一郎;Norifumi FUJIMURA;堀 秀汰,内山 晴貴,片浦 弘道,大野 雄高

文献摘要

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