PLD法によるIn-Ga-Zn系酸化物透明導電性薄膜

PLD法によるIn-Ga-Zn系酸化物透明導電性薄膜
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PLD法制备In-Ga-Zn基氧化物透明导电薄膜

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
中林一朗
中林一朗
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
續木貴志;富永喜久雄;井上研一;三河通男;森賀俊広;中林一朗

文献摘要

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