SiOxNy 膜を被覆したガスケット用ゴムシートの熱酸化劣化特性
SiOxNy 膜を被覆したガスケット用ゴムシートの熱酸化劣化特性
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SiOxNy薄膜垫片用橡胶板的热氧化劣化特性
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
米倉大介 (他 2名)
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yonekura D;et al;石田浩規*,鳥居太始之,清水憲一*(*内山工業);米倉大介 (他 2名)
