EUV ablation of polydimethylsiloxane elastomer
EUV ablation of polydimethylsiloxane elastomer
复制标题
聚二甲基硅氧烷弹性体的 EUV 烧蚀
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tetsuya Makimura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kotaro Oguchi;Yuhao Wang;Tetsuya Makimura
