A three-dimensional earthquake isolation device.

A three-dimensional earthquake isolation device.
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三维隔震装置。

DOI:
10.1299/kikaic.51.2768
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发表时间:
1985
期刊:
Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. C
影响因子:
--
通讯作者:
T. Omi
T. Omi
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
T. Fujita;Sadayuki Kuramoto;T. Omi

文献摘要

被引文献

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半導体製造設備など精密機器用の三次元免震装置として,直線運動機構を利用した水平二次元免震機構と機器取付用テーブルの水平維持が構造的に確保された鉛直動免震機構を組合せた免震装置を考案し,その実用化研究を行った.本論文では,一般には免震が困難と思われがちな空気ばね支持された機器のモデルなどを試作器に搭載して行った水平・鉛直二次元振動実験と応答解析を通して,本装置の振動特性と免震性能を明らかにしている.