GaN (0001)自立基板上GaNのHVPE成長における表面カイネティクス

GaN (0001)自立基板上GaNのHVPE成長における表面カイネティクス
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独立式衬底上 GaN (0001) 的 HVPE 生长的表面动力学

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
天野 浩
天野 浩
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
大西 一生;藤元 直樹;新田 州吾;渡邉 浩崇;本田 善央;天野 浩

文献摘要

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