エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性
エポキシ系ネガレジスト機械的特性の架橋度依存性
复制标题
环氧负性光刻胶机械性能的交联度依赖性
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田畑修
中科院分区：
文献类型：
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作者：
上杉晃生;牧野圭秀;柳生裕聖;平井義和;菅野公二;土屋智由;田畑修
