An attempt to visualize dopant distribution in Si by low-voltage SEM-EBIC
An attempt to visualize dopant distribution in Si by low-voltage SEM-EBIC
复制标题
尝试通过低压 SEM-EBIC 可视化 Si 中的掺杂剂分布
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Niwa and T. Tanji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Tanaka;T. Niwa and T. Tanji
