Sputtering of silicon and glass substrates with polyatomic molecular ion beams generated from ionic liquids
Sputtering of silicon and glass substrates with polyatomic molecular ion beams generated from ionic liquids
复制标题
使用离子液体产生的多原子分子离子束溅射硅和玻璃基板
DOI：
10.1116/1.4942996
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
G. H. Takaoka
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M. Takeuchi;Y. Hoshide;H. Ryuto;G. H. Takaoka
