超精密・マイクロ機械加工技術とその展開

超精密・マイクロ機械加工技術とその展開
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超精密/微加工技术及其发展

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
社本英二
社本英二
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Rei Hino;Norikazu Suzuki and Eiji Shamoto;社本英二

文献摘要

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