反応焼結SiC材の陽極酸化援用研磨法における加工状態の電気化学的モニタリングに関する検討
反応焼結SiC材の陽極酸化援用研磨法における加工状態の電気化学的モニタリングに関する検討
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反应烧结SiC材料阳极氧化辅助抛光工艺条件的电化学监测研究
DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
山村和也
中科院分区:
文献类型:
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作者:
今西勇介;下園直樹;遠藤勝義;山村和也