Measurement of surface potential distribution of resist irradiated by fogging electrons
Measurement of surface potential distribution of resist irradiated by fogging electrons
复制标题
雾化电子辐照抗蚀剂表面电位分布的测量
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
YasuhiroOhara and Masatoshi Kotera
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akira Osada;Masaru Otani;YasuhiroOhara and Masatoshi Kotera
