Hiroaki Kakiuchi, Kumayasu Yoshii, Kiyoshi Yasutake, Akihiro Takeuchi, Kikuji Hirose and Yuzo Mori: "Low Temperature Growth of Polycrystalline Silicon Films by RF Sputtering Method (2^<nd> Report) -----Structure, Electrical and Optical Properties of the P
Hiroaki Kakiuchi, Kumayasu Yoshii, Kiyoshi Yasutake, Akihiro Takeuchi, Kikuji Hirose and Yuzo Mori: "Low Temperature Growth of Polycrystalline Silicon Films by RF Sputtering Method (2^<nd> Report) -----Structure, Electrical and Optical Properties of the P
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Hiroaki Kakiuchi、Kumayasu Yoshii、Kiyoshi Yasutake、Akihiro Takeuchi、Kikuji Hirose 和 Yuzo Mori：“采用射频溅射法低温生长多晶硅薄膜（第 2 次报告）-----多晶硅薄膜的结构、电学和光学性能
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