Characterizations of high resistivity TiNxOy thin films for applications in thin film resistors
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DOI：
10.1016/j.microrel.2007.01.014
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发表时间：
2007-04
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
D. Nguyen;Dong-Jin Kim;B. Kang;Chang Soo Kim;Soon-Gil Yoon
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D. Nguyen;Dong-Jin Kim;B. Kang;Chang Soo Kim;Soon-Gil Yoon
