複合ターゲットによるRFマグネトロンスパッタ法で成膜した銀含有DLCの摩擦特性
複合ターゲットによるRFマグネトロンスパッタ法で成膜した銀含有DLCの摩擦特性
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使用复合靶材射频磁控溅射沉积的含银DLC的摩擦性能
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
後藤 実
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小田 稔;後藤 実
