Narrow Tube Inner Coating by Low Pressure Micro Plasma Sputtering,

Narrow Tube Inner Coating by Low Pressure Micro Plasma Sputtering,
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低压微等离子体溅射窄管内涂层，

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Proc.of the 17^<th> International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC-17)
影响因子：
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通讯作者：
Y.Matsuda
Y.Matsuda
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
H.Uchida;M.Kumamoto;H.Fujiyama;M.Shinohara;Y.Matsuda

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