Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition with Low-Inductance Antenna for Low-Temperature Fabrication of Flexible Photovoltaic Devices
Plasma-Enhanced Reactive Sputter Deposition with Low-Inductance Antenna for Low-Temperature Fabrication of Flexible Photovoltaic Devices
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用于柔性光伏器件低温制造的低电感天线等离子体增强反应溅射沉积
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yuichi Setsuhara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
趙 研;節原 裕一;竹中 弘祐;白谷 正治;関根 誠;堀 勝;S. Ohara;Yuichi Setsuhara
