プラズマ励起原子層堆積プラズマ励起原子層堆積保護膜によるAlGaN/GaN HEMTの表面安定化
プラズマ励起原子層堆積プラズマ励起原子層堆積保護膜によるAlGaN/GaN HEMTの表面安定化
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等离子体增强原子层沉积 使用等离子体增强原子层沉积保护膜稳定 AlGaN/GaN HEMT 的表面
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩田直高
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木貴之; 山田富明; 河合亮輔; 川口翔平; 張東岩; 岩田直高
